攻坚国产“小光刻机”，惠然微电子发布国内首台 14/22nm CD-SEM 关键尺寸量测设备

IT之家 9 月 2 日消息，据爱集微 8 月 31 日报道，半导体量测设备是芯片制造过程中的“眼睛”，贯穿光刻、刻蚀、沉积等全部核心工艺环节，直接决定晶圆良率水平与制程迭代速度。电子束关键尺寸量测设备（CD-SEM）又是先进制程晶圆良率控制的核心装备之一，也是目前国产化率第二低的半导体设备品类，仅次于光刻机，在业内有“小光刻机”之称，是我国半导体产业链自主可控进程中亟待突破的关键短板。惠然微电子技术有限公司是国内专注于半导体量检测设备领域的创新企业，在 8 月 31 日 ~9 月 2 日的第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC 2026）上发布多款重磅新品，其中就包括 14 纳米研发级和 22 纳米量产级 12 英寸晶圆 CD-SEM eMILO-FW300、光掩模版关键尺寸量测设备 Mask CD-SEM eMILO-FR7，以及 AI-电子束量测技术平台 RMS 等。报道称，

原文：IT之家